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20年前，Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀，初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測(cè)，如毒性氣體AsH₃、B₂H₆、PH₃等，強(qiáng)腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF₃等，強(qiáng)氧化性氣體如CIF₃、NF₃等。

20年來(lái)，Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強(qiáng)大的產(chǎn)品力，針對(duì)不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案。

HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體，HF，HCl，HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。

主要特點(diǎn)：

1、連接件電拋光工藝處理
2、取樣壓力： 1mTorr to 1000Torr
3、高靈敏度三級(jí)過(guò)濾四極桿
4、檢測(cè)限可達(dá) 5 ppb
5、QGA專業(yè)版定量分析軟件