TranspectorCPM 3殘余氣體分析儀-質(zhì)譜網(wǎng)

產(chǎn)品詳細(xì)

INFICON Transpector CPM 一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場*先的殘余氣體分析儀 (RGA) 過程監(jiān)測系統(tǒng)?，F(xiàn)在，Transpector CPM 3 通過集成經(jīng)實踐驗證的泵送和進(jìn)口系統(tǒng)與新型傳感器和電子元件，達(dá)到業(yè)內(nèi)*先的測量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是新型和現(xiàn)有半導(dǎo)體過程（例如，ALD、CVD、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過程監(jiān)控器。

Transpector CPM 3 通過以下特性為合作伙伴提供經(jīng)實踐證實的投資回報率：業(yè)內(nèi)*先的測量技術(shù)，穩(wěn)健的適應(yīng)性架構(gòu)，易于維護(hù)，出色的產(chǎn)品支持。

功能

ALD、蝕刻、CVD 和 300 mm 除氣殘余氣體分析儀 — 實現(xiàn)實時過程監(jiān)測和分析
ALD 就緒，測量速度為每點 1.8 ms（每秒 555 點）
在大多數(shù)苛刻 CVD 和蝕刻應(yīng)用中，展現(xiàn)出經(jīng)實踐驗證的耐久性和可靠性
應(yīng)用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件，由 INFICON 高級應(yīng)用專家提供支持，是一款強(qiáng)大的過程監(jiān)測與診斷工具
緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
Hexblock™ 含三個壓力進(jìn)口并減少表面積，以zui小化表面反應(yīng)時間和響應(yīng)時間
電容隔膜計 (CDG) — CDG 允許用戶監(jiān)測過程壓力，并自動保護(hù)系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移
自動校準(zhǔn) — 確保長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度，以便進(jìn)行各傳感器和工具的腔室匹配

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