壓力傳感器芯片中的真空檢漏技術:

壓力傳感器是一種堅固耐用的直接介質壓力監(jiān)測解決方案，專為當今最嚴苛的壓力傳感環(huán)境而設計，可應用于工業(yè)（HVAC系統(tǒng)、工業(yè)自動化、過程監(jiān)控、水位和壓力監(jiān)測等）、汽車（變速箱油壓、燃油系統(tǒng)壓力等）、醫(yī)療（診斷和分析設備）等領域。因為特殊而嚴苛的工作環(huán)境，傳統(tǒng)的壓力傳感器包括電路分析、材料分析和無源器件分析等，即包括MEMS芯片、ASIC芯片、電容、電阻、陶瓷PCB、塑封蓋、金屬套管等，這些元器件通過焊接工藝封裝到一起，這就要求壓力傳感器的密封性高，在使用過程中不會出現泄漏的問題，行業(yè)內負壓法檢漏漏率是＜1E-10mbarl/s.

壓力傳感器芯片檢漏客戶案例: 

上海伯東協助某新能源汽車客戶解決了如上測試要求, 測試流程如下：

1. 封裝好的芯片放在一個密封的腔體1內，內部充3Bar或者更高壓力的氦氣，保壓30min~1h

2. 把芯片從腔體1內取出，用高純氮氣對產品表面吹掃，吹掃后再放置到腔體2內

3. 檢漏儀ASM 340W通過管路連接到腔體2，打開檢漏儀，設定檢漏儀報警精度為1E-10 mbarl/s，開始漏率測試

4. 測試過程中如果檢漏儀不報警，判定樣品符合漏率要求，如果檢漏儀報警，則判定檢漏儀不合格

鑒于信息保密，更詳細的壓力傳感器芯片方式歡迎致電 

上海伯東氦質譜檢漏儀 ASM 340W  技術參數：

此檢漏系統(tǒng)核心部件是上海伯東代理德國 Pfeiffer ASM 340 氦質譜檢漏儀. 上海伯東依據客戶實際需要協助設計壓力傳感器芯片檢漏并提供完善的售后維修服務.

上海伯東德國 Pfeiffer普發(fā)檢漏儀ASM-340優(yōu)勢及應用領域:

氦質譜檢漏儀 ASM 340 特性:

1. 前級泵可選油泵或干泵或不配前級泵, 滿足各類應用
2. 高壓縮比分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s, 檢測時間短
3. 氦質譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的最小檢測漏率：
   真空模式: 5E-13 Pa m3/s
   吸槍模式: 5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界漏律
4. 大的進氣口壓力 25 hPa, 快速進入檢漏模式
5. 觸摸式人機界面, 7英寸大屏幕高分辨率移動式操作面板, 易操作
6. Usb 端口, 方便數據傳輸
7. 抗破大氣, 抗震動, 降低由操作失誤帶來的風險性
8. 豐富的可選配件, 如吸槍, 遙控器, 小推車, 旁路裝置, 標準漏孔等

氦質譜檢漏儀 ASM 340 應用領域:

上海伯東是德國 Pfeiffer  真空設備, 美國  KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 比利時進口 Europlasma 等離子表面處理機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口品牌的代理商 .我們真誠期待與您的合作!

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上海伯東: 羅小姐