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INFICON UL6000 氦氣檢漏儀旨在滿足最為苛刻的泄漏檢測應(yīng)用的要求。UL6000 采用經(jīng)過領(lǐng)域驗證的真空設(shè)計，內(nèi)置 INFICON 磚利軟件算法 I-CAL 和 Hydro-S，可以為測試提供靈活性和高靈敏度以及快速、精確的測試結(jié)果，確保任何泄漏檢測應(yīng)用均可快速、輕松地完成。

UL6000 在所有測試范圍內(nèi)均可實現(xiàn)快速響應(yīng)，從達(dá)到測試條件到獲得最終結(jié)果的周期時間極其短暫。此專門設(shè)計的真空架構(gòu)可以提供持續(xù)高速的氦氣泵速以及極其快的響應(yīng)，能夠滿足您的需求。

好處

HYDRO-S （HYDROgen-Suppression） 能夠快速達(dá)到測試條件。

UL6000 晶圓廠 - 附加優(yōu)勢

采用I·RISE，我們的智能上升速率：結(jié)合氦氣噴涂方法提供設(shè)備內(nèi)增壓測試

在 10 秒內(nèi)完成上升速率測量

有助于最大限度地減少泄漏測試和晶圓廠設(shè)備維護(hù)的一般時間

速度更快，精度更高

I-CAL （智能 - 泄漏率計算算法） 確保對所有測試范圍內(nèi)的泄漏做出快速響應(yīng)。

特殊的多進(jìn)口渦輪分子泵可以在所有壓力下提供最佳氦氣泵速和高氦氣壓縮率，從而提供超卓靈敏度、快速響應(yīng)和清洗。

前置渦輪分子泵可以對任何測試對象（包括最大容量和最大腔室）提供極其快速的響應(yīng)。

經(jīng)過領(lǐng)域驗證的 INFICON 扇形磁場質(zhì)譜儀采用沒有**、免維護(hù)設(shè)計，歷經(jīng)數(shù)年仍可提供準(zhǔn)確且可重復(fù)的結(jié)果。

自我保護(hù)功能可保護(hù) UL6000 免受氦氣和粒子污染，甚至還設(shè)有自動沖凈周期，確保 UL6000 隨時可用。

旋轉(zhuǎn)式顯示器/控制接口和可選遠(yuǎn)程手動控制器提供操作靈活性。

可通過軟件啟用對裝置和系統(tǒng)軟件的訪問控制，從而阻止未經(jīng)授權(quán)地使用或意外修改測試設(shè)定。

通過電子郵件升級軟件，確保您的 UL6000 始終處于最佳工作狀態(tài)。

新型工作站設(shè)計，帶有最佳高度的工作臺面，并且配備有防靜電臺墊和工具箱，便于測試。

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體和平板顯示器工具上測試元件、部件和大型腔室泄漏測試

半導(dǎo)體和平板工具泄漏測試

航空元件、部件和系統(tǒng)泄漏測試

儲存容器/儲罐的泄漏測試

UL6000 氦氣檢漏儀