2019年3月22日，歷時三天的SEMICON CHINA 2019展會在上海落下帷幕。賽默飛擁有行業(yè)的解決方案，為半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)提供多層次技術(shù)支撐。半導(dǎo)體行業(yè)分析利器——Thermo Scientific™ iCAP™ TQs（三重四極桿）ICP-MS的亮相，吸引眾多觀眾駐足交流學(xué)習。

賽默飛展臺

半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，生產(chǎn)力的發(fā)展。1984年個人電腦開始普及、1990年互聯(lián)網(wǎng)誕生、2002年3G通信時代來臨、2007年智能手機誕生，這些時間節(jié)點上的變化，其實都有半導(dǎo)體行業(yè)的“大進展”。GDP的增長，半導(dǎo)體的影響可謂功不可沒。

硅晶片是應(yīng)用廣泛的半導(dǎo)體基材，工業(yè)上使用對其純度要求特別高，通常需要在99.9999999% 以上。在生產(chǎn)制造過程中，通常需要對其純度進行檢測。常用硅純度檢測的方法如：氣相分解—電感耦合等離子體質(zhì)譜聯(lián)用方法（簡稱 VPD 法），具有業(yè)界所需的檢測限和穩(wěn)定性，測試結(jié)果快速可靠。為了得到更加的結(jié)果，去除基體溶液中多原子離子的干擾是非常必要的，比如使用串接式ICP-MS iCAP™ TQs。

賽默飛iCAP™ TQs ICP-MS助力半導(dǎo)體發(fā)展

賽默飛專業(yè)技術(shù)團隊和銷售團隊現(xiàn)場與觀眾進行深入探討交流，為半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展貢獻一份力量。

領(lǐng)略TQ技術(shù)：的干擾消除能力，確保準確可靠的測試結(jié)果

• 利用多達四種不同的碰撞反應(yīng)氣體和*的Reaction Finder技術(shù)來簡化方法開發(fā)步驟。無需擁有復(fù)雜反應(yīng)化學(xué)的高深知識，Reaction Finder幫您完成一切

• 綜合反應(yīng)氣體處理功能，確保儀器操作安全可靠

• 采用預(yù)設(shè)的單模式動能歧視效應(yīng)（KED），簡便、快速、可靠地獲得SQ的分析結(jié)果

• 在單個樣品的分析中輕松實現(xiàn)從SQ到TQ模式的切換，保證大的分析靈活性，為完整分析提供jia結(jié)果

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多層次技術(shù)支撐滿足您的分析要求

一、痕量金屬及無機元素雜質(zhì)檢測方案

1. ICP-MS 檢測解決方案

Thermo Scientific™ ICP-MS 產(chǎn)品包括Thermo Scientific™ iCAP™ RQ （單四極桿） 和 Thermo Scientific™ iCAP™ TQs（三重四極桿），可輕松實現(xiàn)：

1）高純試劑（清洗劑和刻蝕劑）中痕量元素雜質(zhì)實驗室和在線分析；

2）單晶硅錠和晶圓中痕量元素分析；

3）wafer 表面痕量元素分析。

ICAP RQ

ICAP TQ

2. 高分辨 ICP-MS 檢測解決方案

HR-ICP-MS 是以電磁場和靜電場作為質(zhì)量分析器，結(jié)合zhuan利的固定分辨率狹縫技術(shù)實現(xiàn)高質(zhì)量分辨率的ICP-MS。采用高分辨ICP-MS 分析半導(dǎo)體級別試劑中雜質(zhì)元素更簡單方便，高分辨ICP-MS 具有更強的抗干擾能力。

ELEMENT™ 系列 ICP-MS

二、痕量離子態(tài)雜質(zhì)檢測方案

1. 離子色譜（IC）檢測解決方案

賽默飛提供世jie zui 先進的離子色譜和相關(guān)技術(shù)為高純水痕量陰陽離子分析的離線和在線監(jiān)測、半導(dǎo)體表面痕量陰陽離子污染分析、高純試劑中離子雜質(zhì)和工作場所空氣中痕量離子態(tài)物質(zhì)的分析提供解決方案。尤其是高純水，幾乎半導(dǎo)體生產(chǎn)的所有過程均需要使用，因此其質(zhì)量非常重要，如ASTM 和SEMI 對高純水中雜質(zhì)離子有不同的明確限值要求。

通過賽默飛離子色譜，采用大定量環(huán)上樣，可實現(xiàn)高純水中ppt 級別雜質(zhì)分析：

Dionex™ ICS-6000多功能高壓離子色譜

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